A xenon (Xe) az egyik legritkább nemesgáz, mely széleskörű felhasználhatósága miatt rendkívül értékes. Ha már látott élénk fehér fényt sugározni egy autóból, akkor látta a xenont működés közben. A xenonlámpák nagy fényerővel rendelkeznek, mindeközben rendkívül energiatakarékosak, ezért széles körben használják a nagy teljesítményű világítóiparban.
Az Air Products az 1960-as évek óta biztosítja a xenont műholdas programokhoz, űrutazáshoz, valamint űrhajók és műholdak hajtóműveihez. A félvezető, a világítástechnikai és az orvosi piacokat is ellátjuk.
Az Air Products biztosítja a tisztaságot. A félvezető folyamatokban használt xenonnak nagy tisztaságúnak kell lennie, mivel minden szennyező anyag szennyezi a szilícium szubsztrátumot, vagy reakcióba léphet a folyamat vegyi anyagaival, például a fluorral, mérgező és erősen maró hidrogén-peroxidot (HF) termelve.
Az űrtechnológiában az elektródák érzékenysége miatt a xenonnak nagyon alacsony oxigén- és víztartalmúnak kell lennie, hogy ne égesse el az elektródát. Az Air Products ultra-nagy tisztaságú xenonját kifejezetten gamma- és röntgensugárzást érzékelő detektorokhoz tervezték, amelyeket az univerzum és a sötét anyag alapkutatásában használnak.
A ritka gázok, más néven nemesgázok az ember által ismert leginertebb és legkevésbé reaktív elemek. Nagyon alacsony koncentrációban találhatók meg a környezetben és levegőszétválasztó üzemek (air separation units; ASU) állítják elő. Egyedi kémiai tulajdonságaik miatt a szakemberek nagyon újszerű és érdekes alkalmazási lehetőségeket dolgoztak ki felhasználásukra.
Xenon is used for etching and deposition of microchips in semiconductor manufacturing, both as an atmosphere, plasma and as an ion beam source for etching and deposition processes. Xenon used in this process needs to be very pure as any impurities will end up contaminating the silicon substrate or reacting with the process chemicals like fluorine to produce poisonous and highly corrosive hydrogen fluoride (HF). As a global leader in servicing the electronics industry, Air Products’ xenon is produced in our state-of-the-art electronics grade plant for better quality assurance. It can be used in excimer laser, laser buffer gases, etching of DRAM and 3D NAND and plasma display panels.
From large air separation plants to ultra-high purity 6.0 grade gases, Air Products offers flexible supply options to meet all your needs.